半導體制造行業(yè)潔凈室的防異物措施有哪些？

發(fā)布日期：2024-04-07      瀏覽次數(shù)：1003

半導體制造行業(yè)潔凈室的防異物措施有哪些？

潔凈室內的異物對策對于確保產(chǎn)品質量、提高制造效率來說是極為重要的問題。采取適當?shù)拇胧┓乐巩愇飳⒔档彤a(chǎn)品缺陷率、提高產(chǎn)量并降低生產(chǎn)成本。

潔凈室需要控制異物，例如微小的灰塵顆粒、化學物質和生物污染物。例如，在半導體制造領域，潔凈室根據(jù)ISO 14644-1等國際標準進行分級，對顆粒尺寸和數(shù)量有嚴格的標準。如果不按照本標準對異物采取適當?shù)拇胧?，將會導致產(chǎn)品產(chǎn)量降低和生產(chǎn)成本增加。

在半導體制造工廠，對潔凈室的空氣質量進行持續(xù)監(jiān)控，以確保一定尺寸的顆粒數(shù)量不超過標準。在藥品生產(chǎn)中，不僅對空氣清潔度有嚴格的規(guī)定，而且對工人的服裝和行為也有嚴格的規(guī)定，以防止微生物污染。在航天工業(yè)中，進行極其嚴格的異物管理，因為潔凈室中的異物會對航天器和衛(wèi)星造成損壞。

用粒子可視化系統(tǒng)可視化異物



Particle Viewer PV2 series



Particle Viewer PV2-Yellow

加藤工研提出的微?？梢暬夹g是一種通過結合針對目標顆粒和環(huán)境的照明以及前端圖像處理技術，甚至可以捕獲亞微米顆粒的工具。您可以在最短的時間內檢查工作環(huán)境的當前狀態(tài)，找出原因并評估改進后的情況。

您可以通過直接觀察來檢查灰塵的產(chǎn)生過程。

使用設備

粒子可視化系統(tǒng) Particle Viewer PV2 系列

0.3微米粒子｜可視化實例

使用設備

粒子可視化系統(tǒng) Particle Viewer PV2 系列

在 1,000 級潔凈室（ISO 6 級）環(huán)境中可視化從 FFU 掉落的 0.3μ 顆粒。我們正在驗證通過使用粒子可視化系統(tǒng)粒子查看器和粒子計數(shù)器同時測量可以可視化多少粒子尺寸。可對FFU的泄漏評估、設備劣化造成的粉塵問題、潔凈度要求高的潔凈室中的亞微米異物評估等進行非接觸驗證。

粗顆粒｜5微米以上顆粒的識別及對策

使用設備

粒子可視化系統(tǒng) Particle Viewer PV2 系列

[兼容標準：ISO14644-17]
由于2021年標準化的ISO14644-17，粗顆粒的識別和對策變得很重要。視頻顯示，大于5微米的粗顆粒有很強的下落傾向，很難用顆粒計數(shù)器收集。結果，可視化的顆粒與計數(shù)器的測量值之間存在差異。在顆?？梢暬到y(tǒng)中，顆粒尺寸越大，越容易捕獲顆粒圖像，因此可以輕松拍攝粗顆粒。

大于10微米的顆粒｜驗證下落顆粒的吸力



*點擊可顯示放大的圖像。

在顆粒計數(shù)器測量過程中拍攝了相當于粗顆粒的 10μ 顆粒的照片。正如您在圖像中看到的那樣，即使在較遠的位置，小的漂浮顆粒也有很強的被吸入的趨勢，但粗顆粒即使在噴嘴附近也會落下，無法被收集。粒子可視化系統(tǒng)可以檢測粒子計數(shù)器漏掉的異物。

人身上的灰塵

評估人類行為產(chǎn)生的粉塵

使用設備

粒子可視化系統(tǒng) Particle Viewer PV2 系列

據(jù)稱，工人產(chǎn)生的灰塵是潔凈室中最大的灰塵來源。即使穿著無塵服，也不能說不會出現(xiàn)異物。在處理異物時，抑制粉塵產(chǎn)生的最佳過程控制非常重要。

如果只給出口頭解釋，孩子可能很難意識到這種行為。然而，顆?？梢暬瘓D像對于異物管理來說具有說服力且有效。即使在存在語言障礙的海外生產(chǎn)現(xiàn)場也可以共享圖像。該產(chǎn)品可以在大范圍內可視化細顆粒，可以執(zhí)行全面的異物對策，例如無塵服的選擇和管理以及工人的活動。




行走時可視化積聚的灰塵

使用設備

粒子可視化系統(tǒng) Particle Viewer PV2 系列

可視化沉積在地板上的顆粒，當工人行走時這些顆粒會飛揚起來。應特別注意清潔度要求高的設備，因為異物可能來自許多行人經(jīng)過的走道。此外，當步行道靠近墻壁設置時，地板上的顆?？赡軙幌铝鞔灯?，除非該結構是中庭。

手套上的灰塵

使用設備

粒子可視化系統(tǒng) Particle Viewer PV2 系列

我們通過比較潔凈室中使用的手套和普通丁腈手套來可視化灰塵的產(chǎn)生。視頻還介紹了工作期間可能出現(xiàn)的污染情況。通過使用顆粒可視化系統(tǒng)實際觀察顆粒，您可以驗證意外的灰塵產(chǎn)生和污染路徑。

粒子行為隨大小而變化

使用設備

粒子可視化系統(tǒng) Particle Viewer PV2 系列

粒子可視化系統(tǒng)通過處理捕獲的粒子圖像，可以更準確地了解粒子行為。圖像上捕獲的粒子只是一小部分亮度信息，可能會被忽略。因此，我們積累有關粒子亮度的信息并繪制跟隨其運動的軌跡。通過繪制軌跡，可以識別受氣流影響的粉塵產(chǎn)生位置，以及顆粒的最終目的地和性質。

計數(shù)顆粒物

使用設備

粒子可視化系統(tǒng) Particle Viewer PV2 系列

粒子可視化系統(tǒng)可以對空氣中的粒子進行計數(shù)。對空間捕獲的圖像上的粒子進行標記處理、數(shù)字化和計數(shù)，并輸出數(shù)據(jù)。由于可以對視頻數(shù)據(jù)進行處理，因此可以將顆粒增加的定時（灰塵產(chǎn)生的定時）作為時間序列數(shù)據(jù)來獲得。

分析潔凈室中的氣流｜PIV

在處理潔凈室中的異物時，可視化房間內的氣流也很重要。使用激光片將氣流可視化，使用不會污染房間的霧氣作為示蹤粒子。可視化氣流可以使用 PIV 進行量化。

使用設備

• PIV 激光 G 系列

• PIV 軟件 Flow Expert2D2C

這是使用 FFU 可視化氣流狀態(tài)的示例。該圖顯示煙霧發(fā)生器產(chǎn)生的煙霧作為示蹤粒子分散并用激光片光源從側面照射。用相機拍攝可視化氣流，使用PIV 軟件進行分析，并計算速度矢量。既然可以評估下降流的影響范圍，那么是否可以有效地排放顆粒物呢？有沒有停滯點？可以驗證產(chǎn)量的提高。
*原本使用純水霧是因為用煙霧發(fā)生器噴射會造成污染，但在本次實驗中，為了驗證目的，使用了煙霧發(fā)生器。